NTC-SW-04-11
St-Res-S - Software pro vyhodnocování zbytkových pnutí v tenkých vrstvách
Autoři:
Číslo projektu:
1M06031
Abstrakt:
Vytvořený software slouží k měření a analyzování zbytkového pnutí ve vrstvě. Je zde využita metoda založená na Stenoyově rovnici, tzn. zbytkové pnutí ve vrstvě je určeno ze zakřivení substrátu, které je měřeno profilometrem KLA-TENCOR P. Software dále umožnuje stanovit vnitřní a tepelnou složku celkového zbytkového pnutí. Pro filtrování měřených dat a odstranění šumu byl navržen vlastní interaktivní filtr založený na vážené regresi.
Dokumentace
Tento software může být využíván v souladu s licenčními podmínkami, které získáte na hyncik@ntc.zcu.cz.