NÁVRH TECHNOLOGIE PŘÍPRAVY NIKLEM DOPOVANÉHO STRONCIUM TITANÁTU
Autoři:
- Nedvědová Lucie (RAM) [100 %]
- Jansa Zdeněk (RAM)
- Nicolai Laurent Christophe (RAM)
- Minár Ján (RAM)
- Fatima Alarab
- Christine Scheu
- Karol Hricovini
Číslo projektu:
(EVT-Minár) EVT-Minár-Výpočetní a experimentální design pokročilých materiálů s novými funkcionalitami - EF15_003/0000358
Abstrakt:
Tato technologie se zabývý přípravou a vlastnostmi vrstev stroncium titanátu při definované
koncentraci dopujícího prvku (SrNixTi1-xO3, kde x nabývá hodnot od 2 do 8), tloušťky a
struktury. Vrstvy SrTiO3 jsou deponovány pomocí vysokofrekvenčního (13.56 MHz)
magnetronového naprašování s využitím přístroje TF 600 firmy BOC Edwards. Růst vrstev
probíhá v argonové atmosféře z keramického terče SrTiO3 (o čistotě 99.9 at.%). Pro výsledné
dopování vrstev niklem umísťujeme v erozivní zóně depozičního terče pelety niklu. Všechny vrstvy deponované při pokojové teplotě rostou amorfní, proto jsou následně žíhány ve vakuupři teplotě 900°C. Rentgenová difrakce spolu s transmisní elektronovou mikroskopií a fotoemisní spektroskopií popisuje průběh rozpustnosti niklu ve struktuře stroncium titanátu až do jeho nasycení a vytváření kovových niklových klastrů při koncentraci 8 at.% Ni v SrTiO3.