NTC-OTE-20-005
Ověřená technologie k výrobě tenkovrstvého senzoru/aktuátoru
Autoři:
- Novák Petr (RAM)
Číslo projektu:
NCK strojírenství (TN01000015)
Abstrakt:
V rámci spolupráce s firmou Krystaly Hradec Králové a.s. byla řešena problematika technologického postupu k výrobě tenkovrstvého piezoelektrického FBAR senzoru určeného na použití v technologických aplikacích nebo v přístrojích. Cílem práce bylo vytvořit vzorek s vrtvou ZnO, která vykazuje silnou preferenční orientaci a vysokou resistivitu. Těchto vlastností bylo doženo optimalizací depoziční teploty a oxidových podmínek během přípravy vrstev, které ovlivňují dominantní bodové defekty ve vrstvě. Dominantní defekty za daných podmínek a jejich elektrické vlastnosti byly určeny z kvantově mechanických výpočtů. Tyto vhodné defekty snižují množství volného náboje ve vrstvě a tím zásadně snižují její vodivost. Dále byla optimalizována příprava izolační nevodivé vrstvy a elektrody, aby nedocházelo ani ke stínění buzeného elektrického napětí volným nábojem z elektrod.