NTC-OTE-19-002
Příprava naprašovaných vrstev pro nanostrukturní piezogenerátor
Autoři:
Ing. Novák Petr Ph.D. (61940)
Typ zdroje výsledku:
P - Projekt evidovaný v CEP
Číslo projektu: LO1402 CENTEM+
Abstrakt:
Práce se zabývá přípravou a optimalizací ZnO vrstev použitelné pro tenkovrstvé piezogenerátory napětí. Vrstva ZnO byla
připravena metodou magnetronového naprašování při teplotě 100°C, což umožnuje její využití pro zařízení na flexibilních
polymerních substrátech. U vrstvy byla dosažena silná preferenční orientace ve směru krystalové osy c. Dále byla
zajištěna vysoká elektrická resistivita, která je důležitá pro potlačení stínění elektrického pole volným nábojem.