NTC-OTE-19-001
Technologie přípravy vícedimenzionální fotonické struktury
Autor:
Ing. Calta Pavel Ph.D. (61940)
doc. RNDr. Šutta Pavol Ph.D. (61940)
Ing. Medlín Rostislav Ph.D. (61940)
Ing. Netrvalová Marie Ph.D. (61940)
Číslo projektu: LO1402 CENTEM+
Abstrakt:
Tato technologie využívá v prvním kroku metodu přípravy tenkých vrstev PECVD („Plasma Enhanced Chemical Vapor
Deposition“) pro vytvoření superstruktur a-Si/a-SiNx a ve druhém kroku jejich následné žíhání ve vakuu až do teploty
1100°C pro vytvoření změn ve struktuře (tvorba křemíkových nanokrystalů v původně amorfních křemíkových
subvrstvách) vlivem rekrystalizace. Velikost křemíkových nanokrystalů je dána jednak tloušťkou subvrstev v
superstruktuře, jednak teplotou žíhání. Výsledky byly ověřeny rentgenovou difrakcí, transmisní elektronovou mikroskopií
a Ramanovou mikroskopií, UV-Vis spektroskopií a elipsometrií, které potvrdily výskyt nanokrystalů a řízené změny
optických vlastností superstruktur.