NTC-OTE-14-012
Technologie přípravy periodicky strukturovaných fotonických materiálů s prostorově řízenou krystalizací křemíku
Autoři:
Ing. Pavel Calta, Ph.D., 61950
Doc. RNDr. Pavol Šutta, Ph.D., 61950
Číslo projektu:
CZ.1.05/2.1.00/03.0088
Abstrakt:
Byla vyvinuta technologie depozice ultratenkých absorpčních vrstev s křemíkovými nano-krystaly vertikálně oddělenými dielektrickou vrstvou SiO2, anebo Si3N4 pro fotonické aplikace. Fotonické vlastnosti materiálů se projevují zejména tehdy, když je materiál anizotropní anebo nehomogenní z hlediska relativní permitivity. Platí to i pro opticky homogenní materiál, jež hraničí s prostředím, jehož index lomu je jiný. Kromě multi-vrstevních struktur s materiály o různém indexu lomu, mají výrazné fotonické vlastnosti i materiály jako mikrokrystalický křemík, který se skládá z amorfní a krystalické fáze a mikro-dutin v různém objemovém poměru (každá z uvedených fází má jiný index lomu).