NTC-OTE-14-010
Technologie přípravy tenkých absorpčních multi-vrstev na kvantových nanostrukturách křemíku osazených v matrici SiO2
Autoři:
Ing. Pavel Calta, Ph.D., 61950
Doc. RNDr. Pavol Šutta, Ph.D., 61950
Číslo projektu:
CZ.1.05/2.1.00/03.0088
Abstrakt:
Byla vyvinuta technologie depozice ultratenkých absorpčních vrstev s křemíkovými nano-krystaly vertikálně oddělenými dielektrickou vrstvou SiO2. Podle tloušťky křemíkových sub-vrstev a podle použité depoziční technologie (chemická anebo fyzikální depozice) byla dosažena průměrná velikost křemíkových nano-krystalů v rozmezí od 4 do 14 nm. Podle očekávání byl kvantový rozměrový efekt výraznější u menších krystalů, přičemž se tento efekt projevil také u multivrstev a-Si:H/SiO2, v původním post-depozičním stavu (jedno-rozměrový kvantový efekt – vhodný i pro fotonické aplikace).