NTC-OTE-14-008
Technologie pro permanentní depozici mikroelektronických komponent na povrch polymerů
Autoři:
Ing.Miloš Svoboda,Ph.D., 61910, NTC, ZČU
prof. Ing.Dalimil Šnita, CSc., 61910, NTC, ZČU
Číslo projektu:
CZ.1.05/2.1.00/03.0088
Abstrakt:
Byla vyvinuta technika obětovaného substrátu, umožňující výrobu mechanicky stabilních kovových mikroelektronických komponent - mikroelektrod v PMMA mikrofluidních čipech. Technika obětovaného substrátu patří mezi takzvané aditivní metody. Je založena na kombinaci fotolitografie, galvanické depozice a zalití vyrobených struktur do UV tvrditelné polymerní pryskyřice Acrifix® 192.