NTC-OTE-13-001
Řízení preferenční orientace polykrystalických ZnO vrstev deponovaných magnetronovým naprašováním
Autoři:
Ing. Petr Novák, Ph.D., 61950
doc. RNDr. Pavol Šutta, Ph. D., 61950
Ing. Jan Říha, Ph. D., 61950
Ing. Marie Netrvalová, Ph. D., 61950
Ing. Rostislav Medlín, Ph. D., 61950
Číslo projektu:
CENTEM, reg. č. CZ.1.05/2.1.00/03.008
Abstrakt:
Technologie využívá magnetronové naprašování a následné žíhání pro vytvoření polykryastalické ZnO vrstvy s určitou preferenční orientací krystalitů. Preferenční orientace je určena teplotou substrátu během depozice, energií iontů urychlených předpětí na rostoucí vrstvu. Následné žíhání slouží k odstranění pnutí a poruch, které vznikly v důsledku iontového bombardu. Výrobní postup byl ověřen rentgenovou difrakcí, která potvrdila přednostní orientaci výsledné vrstvy.