NTC-FVZ-20-006
Funkční vzorek tenkovrstvého senzoru/aktuátoru
Autoři:
- Ing. Novák Petr, Ph.D. (RAM)
Číslo projektu:
NCK strojírenství (TNO1000015)
Abstrakt:
Na základě ověřené technologie pro přípravu multivrstvé struktury s naprašovanou ZnO vrstvou, byl vytvořen funkční vzorek FBAR rezonátoru. Ten obsahoval aktivní vrstvu ZnO, která byla optimalizová tak, aby vykazovala silnou preferenční orientaci ve směru osy c a zároveň elektrickou resistivitu alespoň 10e8 Ωcm. Tato hodnota rezistivity, při frekvencích v řádu kHz, zabraňuje stínění. Vrchní a spodní elektroda byla oddělena od piezovrstvy izolační vrstvou AL2O3. Tyto izolační vrstvy zabraňovaly odstínění generovaného napětí volným nábojem z elektrod. Struktura byla připravena na křemíkový substrát pokrytý nevodivou vrstvou, který byl po procesu rozdělen na proužky o tloušťce 5mm. Tímto postupem výroby bylo zamezeno vzniku strukturních vad na hranách jednotlivých vrstev a tedy i ke zkratování zařízení. Jednotlivé rezonátory byly kontaktovány a výsledná rezistivita byla v řádu stovek Ω.