NTC-FVZ-19-005
FBAR zařízení z transparentních vrstev využívající piezoelektrických vlastností ZNO
Autor:
Ing. Novák Petr Ph.D. (61940)
Číslo projektu: CENTEM+ (LO1402)
Abstrakt:
V této práci bylo vytvořeno FBAR zařízení, které je možné využít dále jako senzor. Zařízení využívá rezonanci
piezoelektrické vrstvy. Při přípravě vytvořené tenkovrstvé součástky byly použity transaprentní pouze pouze
transparentní vrstvy a aktivní oblast je tedy průhledná