NTC-FVZ-12-018
Generátor napětí s piezoelektrickou ZnO vrstvou
Autor:
Ing. Lucie Prušáková, Ph.D., 61950.
Ing. Pavel Kulha, Ph.D.
Ing. Petr Novák, 61950
Ing. Adam Bouřa, Ph.D.
Doc. RNDr. Pavol Šutta, Ph.D., 61950.
Číslo projektu:
CZ.1.05/2.1.00/03.0088
Abstrakt:
Prezentujeme piezoelektrický generátor s aktivní vrstvou oxidu zinečnatého (ZnO). Piezoelektrický mikrogenerátor tvoří vrstva ZnO uložená mezi izolační vrstvy Al2O3 pokryté hliníkovými kontakty. Tato struktura byla vytvořena v depozičním systému BOC Edwards TF 600 kombinací RF (13.56 MHz) a DC magnetronového naprašování. Piezoelektrický generátor v uspořádání jednostranně vetknutého nosníku dosáhl maximálního napětí 1.25 V při rezonanční freqvenci 190 Hz.