Zpět
Microscopy studies of nanostructure evolution in sputtered Cu–Zr films
| Citace: |
ZHADKO, M.; BENEDIKTOVÁ, A.; ČERSTVÝ, R.; BAROCH, P.; ZEMAN, P. Microscopy studies of nanostructure evolution in sputtered Cu–Zr films. Brno, 2025.Latest Trends in In-situ and Correlative Electron Microscopy Conference & Workshop (ICEM) 2025.
|
|---|---|
| Druh: | PŘEDNÁŠKA, POSTER |
| Jazyk publikace: | eng |
| Anglický název: | Microscopy studies of nanostructure evolution in sputtered Cu?Zr films |
| Rok vydání: | 2025 |
| Místo konání: | Brno |
| Autoři: | Mariia Zhadko , Ing. Anna Benediktová , Ing. Radomír Čerstvý Ph.D. , doc. Ing. Pavel Baroch Ph.D. , prof. Ing. Petr Zeman Ph.D. |
| Abstrakt CZ: | V této práci byl analyzován vývoj struktury vyvolaný legováním Zr v Cu?Zr tenkých vrstvách pomocí kombinace transmisní elektronové mikroskopie, rastrovací elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil. Strukturální analýzy prokázaly, že přídavek Zr vede k tvorbě komplexní mikrostruktury doprovázené výrazným oslabením textury a zjemněním struktury. Detailní TEM měření, včetně vysokorozlišovacího zobrazování, odhalila přítomnost četných nanodvojčat s tloušťkou v rozmezí několika až několika desítek nanometrů, pozorovaných jak v planárním, tak i v příčném řezu. V některých oblastech byla zaznamenána vysoká hustota poruch krystalové mřížky, jako jsou dislokace a poruchy stohování. Lokální chemická analýza potvrdila zvýšenou rozpustnost Zr a zároveň odhalila vyšší koncentraci Zr na hranicích zrn ve srovnání s vnitřními oblastmi zrn. Výsledky ukazují, že během depozice dochází k redistribuci Zr atomů mezi přesyceným tuhým roztokem a hranicemi zrn, přičemž menší část Zr tvoří intermetalické sloučeniny. Toto chování má významný vliv na mechanické, elektrické a povrchové vlastnosti výsledných vrstev. |
| Abstrakt EN: | In this work, we analyze the structural evolution induced by Zr alloying in Cu?Zr films using a combination of transmission electron microscopy, scanning electron microscopy, and atomic force microscopy. Structural analyses reveal that Zr alloying leads to the formation of a complex microstructure followed by significant texture weakening and structural refinement. Detailed TEM investigations, including high-resolution imaging, reveal the presence of numerous nanotwins with thicknesses ranging from a few to several tens of nanometers, observed in both planar and cross-sectional views. Additionally, a high density of lattice defects, such as dislocations and stacking faults, is detected in certain regions. Local elemental analysis confirms enhanced Zr solubility and indicates a higher Zr concentration at grain boundaries compared to grain interiors. The results indicate that during film formation, Zr atoms redistribute between the supersaturated solid solution and the grain boundaries, with a minor fraction forming intermetallic compounds. This behavior significantly influences the mechanical, electrical, and surface properties of the films. |
| Klíčová slova |
Zpět