NTC-SW-03-07
Software na měření rezistivity tenkých vrstev čtyř-bodovou metodou
Autoři:
Erik Vavrinský
Pavol ŠUTTA
Číslo projektu:
1M06031/NTC-SW-03-07
Popis:
Program umožňuje měření nízkých hodnot rezistivity tenkých vrstev polovodičů čtyř-bodovou metodou s lineárním a kvadratickým uspořádáním měřících kontaktů. Součástí programu je i výpočet korekčních faktorů na velikost a tvar vzorků.